* 学生学術活動報告
> トップ    > ナノ理工学専攻  > 本間 敬之    > 個別データ   

ADVANCED ACADEMIC ACTIVITY INDEX

ナノ理工学専攻

個別データ

 分類学会発表
 開催年月2018/04/18
 学会名22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
 開催都市東京・日本
 タイトルIn-situ analysis for interaction of additives for electrodeposition in through silicon via using surface enhanced Raman scattering
 発表者・連名者○Tetsuya Yasuda,Futa Yamaguchi,Masahiro Kunimoto,Masahiro Yanagisawa,Takayuki Homma
 講演番号s3-047
 概要シリコン貫通ビアは超大規模集積回路のさらなる高集積化のため、半導体の三次元実装に有用な技術である。本検討では光透過性樹脂と表面増強ラマン散乱を組み合せビア内部における添加剤挙動を解析する
 指導教員本間 敬之