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電気・情報生命専攻

個別データ

 分類学会発表
 開催年月2017/03/17
 学会名第64回応用物理学会春季学術講演会
 開催都市横浜市・日本
 タイトル溶液法で作製したIGZO薄膜に対するUV照射と熱処理の影響
 発表者・連名者○高森悠圭,落合祐輔,森本貴明,福田伸子,大木義路
 講演番号17a-502-2
 概要溶液法により大気中250℃で焼成したIGZO薄膜に、室温の大気中で7.2 eVの紫外光(UV)を照射するとOn電流が著しく減少し、250℃の大気中で再び加熱するとOn電流はUV照射前の値に回復する。一方、上記のOn電流の減少は7.2 eVのUVを照射する場合でのみ起こり、5.6、4.0 eVのUVでは発生しない。
 指導教員大木 義路